請更新您的瀏覽器。

您似乎正在使用舊版本 [ 技術 ]。 請更新您的瀏覽器,以獲得最佳的 Pfeiffer 網站體驗。

熱氣體處理

thermal_gas_abatement_systems_ct_tw

許多產業都使用有害氣體,必須先去除這些氣體,再將廢棄物釋放到大氣中。在熱氣體處理中,這些物質會在極高溫度下被破壞,然後在下游濕法階段中被洗滌。Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 提供多種不同的技術,以達到最永續的結果。

這些解決方案非常適合半導體產業的製程,以及光電、LED 和各種化學品的製造過程。

我們每個減排系統都可以單獨調整以滿足您的特定要求。我們的團隊將詳細檢視您的製程,並為您推薦理想的廢氣處理解決方案。

益處

透過自適應製程控制,實現高效智慧減排

用水沖洗並冷卻燃燒腔體,大幅延長服務間隔

額外的洗滌塔階段適用於僅靠熱處理系統無法處理的水溶性氣體與顆粒物

了解我們的產品系列

CT-BW 燃燒濕法

pvweb_88__ct_bw_open_767x430pix
  • 靈活
  • 可靠
  • 便於保養

了解更多

CT-BW 燃燒濕法系統的益處

CT-BW 燃燒濕法系統可提供對製程氣體和全氟碳化合物 (PFC) 的高效清潔,並可靠地處理氣態和微粒狀的副產品。

此減排系統憑藉其視製程而定的燃燒器功率控制,將介質消耗降至最低,可在不同的運行條件下優化效率。其高度靈活的配置可讓您精確適應特定的製程要求。這些差異包括每個模組的入口數量、介質類型和備份類型。此外,標準配備整合式安全功能,例如旁通功能、水循環中的溫度監控和漏氣感應器。CT-BW 非常可靠,可用性超過 98%,且維護需求極低。控制箱作為標準配備整合至 CT-BW 中,可操作多達四個並聯的 CT-BW 系統,並提供客製化的備份配置,即使在發生故障時也能確保持續運作。

了解更多

CT-PW 電漿濕法

ct_pw_plasma_wet_for_waste_gas_treatment
  • 靈活
  • 智慧
  • 效能卓越

取得免費報價

CT-TW 熱濕法

thermal_gas_abatement_systems_ct_tw
  • 靈活
  • 便於保養
  • 高效

了解更多

CT-TW 熱濕法系統的益處

CT-TW 熱濕法系統專為極具成本效益的廢氣處理而設計。此系統運行時無需外部燃氣或氧氣供應,從而將基礎設施需求與運作成本降至最低。此外,由於維護週期長且磨損零件少,因此服務費用低。

這種不頻繁且可規劃的服務和較長的系統正常運行時間,能確保可靠的效能,並將製程中斷降至最低。系統可依特定的客戶要求進行調整,配備最多六個入口,並可依介質類型進行調整。此外,可實施自訂備份配置,以確保即使發生故障也能持續運作。

了解更多

CT-TW-H 熱濕混合

pvweb_88__ct_tw_h_open_767x430pix
  • 靈活
  • 便於保養
  • 高效

了解更多

CT-TW-H 熱濕混合系統的益處

CT-TW-H 熱濕混合系統是一種電熱廢氣處理解決方案,具有整合式濕法洗滌塔和氫氣機械助力泵浦。這種專用的機械助力泵浦配置會燃燒注入的氫氣,以在製程和特定氣體需要時選擇性地提高燃燒溫度。這可有效地處理各種應用中的高要求製程氣體。

此系統結合低運作成本、長維護週期和長效運行,確保最少的中斷。靈活的系統架構意味著 CT-TW-H 可根據特定客戶要求進行客製化,並提供量身打造的備份配置,即使發生故障也能保持系統運作。

了解更多