殘餘氣體分析系統

HiCube Neo RGA 操作壓力範圍涵蓋大氣壓到高真空。其配備整合式截止閥，可精確調整入口壓力。為提供額外保護，系統配備 DigiLine 全範圍變送器，該變送器透過持續監控總壓力來保護質譜儀。如果壓力超過安全級別，變送器自動觸發質譜儀內的燈絲關閉，以防損壞。此機制可確保系統免受操作錯誤影響，無需昂貴的燈絲更換，節省長期維護成本。

HiCube Neo RGA 提供數位和類比輸入和輸出，能夠收集外部資料，例如壓力或氣體流量。然後，可將資料移轉至外部控制裝置，實現全面製程監控。

整合式 HiCube Neo 可透過觸控螢幕直觀控制，其中不僅顯示量測值，還顯示所連外部組件（如真空表）的訊號。這能讓您完全掌控分析。PV MassSpec 軟體還可讓您輕鬆快速地存取資料。

HiCube Neo RGA 可依特定製程客製化。例如，該接收器（即產生真空的腔體）可配備加熱器。其負責蒸發腔體壁上可能吸附的殘餘氣體。操作期間，這些殘餘氣體可能會逐漸釋放並干擾量測，產生多餘的背景訊號。藉由加熱腔體，殘餘氣體會被解吸和抽出，從而減少汙染並提高分析準確度。系統還可配備額外的手動進氣閥，顯著提升樣品運輸的靈活性。此外，當裝配在推車上時，HiCube Neo RGA 即為移動式解決方案，方便運輸和在不同地點使用。

四極桿質譜儀（PrismaPro 或 HiQuad Neo）的選擇和腔體數量的測定對可達到的偵測極限有顯著影響。在標準系統中有兩個腔體，一個用於放置測試樣品，一個用於容納質譜儀。如有必要，此結構可增設第三腔體（鎖定腔體）。這可避免環境汙染量測腔體，並大幅減少背景干擾。對系統烘烤除氣可使其達到最佳狀態，進一步提高量測能力。

在客製化系統領域，我們提供的產品不僅限於殘餘氣體分析系統。憑藉多年來在半導體、製藥、冶金和新興市場中積累的經驗，我們致力於開發最先進的系統，幫助您在業界脫穎而出。例如，我們開發的汙染物管理系統，旨在識別並將汙染物降至最低，優化每個階段的生產製程。透過改善品質和縮短循環時間來提高產量。

除獨立運作單元外，我們還提供模組化解決方案，您可以將其整合到系統中。其中包括洩漏試驗模組（簡稱 LTM），您可將其整合到生產線中進行量產。針對預量產，亦可用作獨立的測試台進行手動驗證。客製化設定模組可涵蓋全方位測試方法和參數，並由我們部分組裝。我們在機械和軟體整合方面擁有豐富的經驗，為客戶落實解決方案提供支援。