Fabrication de semi-conducteurs

Nous fournissons des solutions avancées de gestion de la contamination qui permettent aux fabricants de semi-conducteurs de surveiller les environnements de salle blanche en temps réel. En détectant les contaminants à un stade précoce, nos solutions aident à minimiser les pertes de rendement.

Notre gamme de pompes à vide sèches comprend des pompes à vis et des pompes Roots multi-étagées.

Dans l’industrie des semi-conducteurs, les environnements sous vide doivent respecter des normes strictes Tous les composants, y compris les pompes à vide, doivent répondre à des règlementations industrielles très spécifiques.

Les niveaux de vide dans l’industrie des semi-conducteurs sont sélectionnés avec précision en fonction de l’application spécifique, du type d’outil de production et des éléments chimiques utilisés. Chaque procédé de gravure et de dépôt, tel que l’ALD, le PECVD, le CVD et le PVD, nécessite un niveau de vide et une pression contrôlés, ainsi qu’une compatibilité avec les divers gaz de procédé.

Oui, Pfeiffer fournit des systèmes de vide personnalisés adaptés aux besoins spécifiques des fabricants de semi-conducteurs. Grace à notre expertise technique approfondie pour concevoir des solutions pour tous les régimes de vide, de la pression atmosphérique à l'ultravide; nous proposons un large portefeuille de produits robustes et économes en énergie.

Les pompes à vide jouent un rôle essentiel dans le maintien des environnements ultra-propres requis pour les procédés de semi-conducteurs tels que le dépôt, la gravure, la lithographieet l’ALD. En garantissant des conditions de vide stables, elles aident à prévenir la contamination particulaire et permettent la haute précision nécessaire à la fabrication des wafers.

Le vide est essentiel quelle que soit la technologie de wafers; du silicium traditionnel aux matériaux avancés tels que le carbure de silicium (SiC) et le nitrure de gallium (GaN).

Oui. Nous proposons une large gamme de produits semi-conducteurs, tels que des pompes à vide et des systèmes d'abattement des gaz d'échappement, conçus avec des technologies avancées pour minimiser la consommation d’énergie, d’azote et d’eau. Nos solutions sont alignées sur les objectifs du secteur en matière d'écologie, aidant les fabricants à réduire leur empreinte environnementale sans compromettre les performances.

Une large plage thermique permet à nos pompes à vide d'aspirer efficacement divers gaz de procédé, des précurseurs sensibles à basse température aux gaz condensables à haute température. Ce qui permet d’éviter les réactions chimiques et l’accumulation de matériau à l’intérieur de la cellule de pompage, garantissant un fonctionnement stable, une fiabilité accrue et une durée de vie prolongée du produit dans les applications exigeantes de semi-conducteurs.

Cette flexibilité thermique est obtenue grâce à des composants spécifiques et un design innovant. Veuillez prendre contact avec nous pour trouver la meilleure solution adaptée à vos besoins spécifiques.