真空產品組合

配備混合式或磁性軸承系統的渦輪泵浦

專為客戶需求量身打造的模組化渦輪泵浦

配備 5 軸磁性軸承系統的渦輪泵浦

可靠且靈活的真空助力器

精巧的乾式膜片泵浦

靈活可靠的多級真空助力器

精巧的多級真空助力器

靈活且高能效的多段魯式真空泵浦

高能效、乾式多級真空助力器

高能效多級真空助力器

兩段式油迴轉葉片式真空泵浦

單級油潤滑迴轉葉片真空泵浦

適用於高要求工業應用的單級油迴轉葉片式真空泵浦

適用於半導體的乾式螺旋式真空泵浦

精巧、隔絕密封的渦捲式真空泵浦

高效可靠的示蹤氣體測漏儀

模組化檢漏儀，可整合至工業測漏儀系統

精巧、便於使用的高靈敏度解決方案，適用於空氣洩漏試驗

針對特殊要求客製化的洩漏偵測

真空應用中可靠的總壓力管理

用於總壓力真空表的標準化校準系統

搭載四極桿質譜儀的氣體組成分析設備

用於清潔度驗證的模組化 RGA 系統解決方案

標準和客製化製造的真空腔體

根據客戶要求進行個人化調整

適合每個系統和應用的解決方案

被動式減排系統由於設施要求低而具有許多優勢

永續、高效率的端對端解決方案

將細塵排放降至最低

壓力控制器和截止閥，可配備不同的執行器和法蘭類型

提高半導體產業良率的解決方案

結合多個泵浦——提供標準或客製化版本

以最佳效能和耐用性為特色

專為在高低溫及高低壓環境中有效運作而設計

即使在高要求環境中也能實現精確移動和安全處理

專為無縫製程控制和監控而開發

有助於延長真空泵浦使用壽命